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半導(dǎo)體行業(yè)有機(jī)廢氣來(lái)源及治理

時(shí)間：2022-04-09瀏覽量：1707

　　一、半導(dǎo)體制造工藝過(guò)程中揮發(fā)的各種有機(jī)廢氣，半導(dǎo)體廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點(diǎn)。這些廢氣排放主要可以分為四類(lèi)：酸性氣體、堿性氣體、有機(jī)廢氣和有毒氣體。　　1、酸堿廢氣...

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